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全球半导体制造离子注入设备供应商列表(更新版)

发布时间:2022-07-25作者来源:萨科微浏览:6623


首先,要和大家说声抱歉:之前我发布的离子注入设备供应商数据里被行业朋友指出不少错误,有可能对其他人产生误导,所以我总结多个来源的反馈,重新整理了这个表格,供大家参考

其实半导体用离子注入设备的应用细分还有很多。比如:

    低能大束流里还分重金属、超低温和标准等多种机型;

    用于SiC器件制造的高温注入设备其实也分大束流、中束流、高能这几种;

    另外,注入设备在SOI衬底制造中还有注氢注氧等特殊细分应用


这些信息由于过于详细,我暂时还无法一一细致整理,希望以后有机会梳理后再和大家分享探讨


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注)表内SHELLBACK就是原来的OEM GROUP



免责声明:本文采摘自半导体综研,本文仅代表作者个人观点,不代表萨科微及行业观点,只为转载与分享,支持保护知识产权,转载请注明原出处及作者,如有侵权请联系我们删除。


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