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发布时间:2022-07-25作者来源:萨科微浏览:6623
首先,要和大家说声抱歉:之前我发布的离子注入设备供应商数据里被行业朋友指出不少错误,有可能对其他人产生误导,所以我总结多个来源的反馈,重新整理了这个表格,供大家参考
其实半导体用离子注入设备的应用细分还有很多。比如:
低能大束流里还分重金属、超低温和标准等多种机型;
用于SiC器件制造的高温注入设备其实也分大束流、中束流、高能这几种;
另外,注入设备在SOI衬底制造中还有注氢注氧等特殊细分应用
这些信息由于过于详细,我暂时还无法一一细致整理,希望以后有机会梳理后再和大家分享探讨
注)表内SHELLBACK就是原来的OEM GROUP
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