一文读懂分子束外延（MBE）设备

老虎说芯|Tiger Chip|

2025-07-28 20:06:17 780

一、什么是分子束外延（MBE）？

分子束外延（Molecular Beam Epitaxy, 简称MBE）是一种在超高真空条件下，通过将高纯度元素以原子或分子束的形式沉积在加热的晶圆衬底表面，进行原子级控制的薄膜外延生长的技术。
这项技术能够以极高的精度控制外延层的厚度、组分和界面结构，适用于生产高性能化合物半导体材料。

二、MBE的设备组成与工作流程

MBE设备并非一个简单的真空炉，它是一个多腔室、超高精度的材料沉积平台。

图片来源：论文《分子束外延设备国内外进展及展望》，人工晶体学报

典型的MBE系统主要包含以下几个核心部分：

1. 超高真空系统

工作真空度要求在10??托（Torr）甚至更高，是整个系统正常运行的基础。
真空环境的稳定性直接关系到材料纯净度与生长质量。

2. 材料源（通常为K-cell或effusion cell）

将高纯度金属（如Ga、In、As、Sb等）加热蒸发，形成原子或分子束。
每种元素独立加热控制，可实现组分 .调控。

3. 衬底加热与旋转系统

衬底（wafer）需要均匀加热至几百度温度，同时旋转以保证薄膜均匀沉积。
精确控制温度对实现晶体外延结构至关重要。

4. RHEED系统（反射式高速电子衍射）

实时监测晶体生长过程的表面形貌与生长速率，是MBE系统的“眼睛”。

5. 多腔室设计

包括Loadlock（上下片腔）、Buffer（预处理腔）、Growth chamber（生长腔）。
通过隔离和中转，实现自动上下片且保持真空不被污染。

图片来源：论文《分子束外延设备国内外进展及展望》，人工晶体学报

三、MBE技术的典型应用方向

MBE并不追求速度，而追求 .的材料纯度、界面控制能力和层厚精度。因此，它广泛应用在高性能、对材料结构要求极高的领域：

1. 光通信芯片材料（如InP基器件）

MBE能够精确控制InGaAsP等多层结构，对实现高带宽激光器、调制器等有关键意义。

2. 红外探测器（如HgCdTe、InSb等）

对晶圆均匀性要求极高，MBE可实现亚纳米级厚度控制和低缺陷率，是不可替代的技术。

3. 高频射频器件（如GaAs、GaN等）

包括功率放大器、低噪声放大器等。MBE提供更好的界面控制和迁移率。

4. 量子芯片、超导器件、拓扑材料研究

量子比特材料（如Al、Nb等金属薄膜）对界面洁净度要求极高，MBE可实现层层原子构建，是科研和探索性领域的重要工具。

四、MBE的技术优势与不可替代性

?? 举例说明：比如红外探测芯片如果晶圆中心与边缘温度不均，MBE能 .调温和控制材料流量，MOCVD则难以达到如此均匀性。

五、MBE在先进封装中的潜在应用机会

先进封装强调芯片间的堆叠互联、键合质量与材料兼容性，MBE提供了一种独特路径：

铜-介质材料界面活化：传统湿法清洗+热压方式在低温下难以实现 .键合。MBE可通过在真空中同步沉积活化层来提升界面结合强度，适用于低温加工。
异质材料集成：适合对不同材料间结构进行精密控制，有利于实现3D集成。

六、MBE的产线效率与工程挑战

问题：抽真空时间长、throughput低？

答：现代MBE系统采用多腔室设计与自动上下片系统：

装片与除气可与主生长腔并行处理；
一台标准的量产型MBE设备每天可完成20炉以上生长任务，效率并非劣势；
真正制约throughput的，是生长速率——尤其是厚膜结构，相较MOCVD较慢；
但MBE更适合做高端少量、多品类材料生长任务。

七、MBE设备行业现状与投资视角

行业格局集中：

全球由两大公司主导：RIBER（约75%）和VEECO（约20%）；
国内使用设备基本以RIBER为主，VEECO主要集中于北美。

国产替代处于初级阶段：

受地缘政治和政策支持影响，国内多家初创企业开始布局MBE设备；
技术壁垒高，短期内 .替代难度较大；
科研型与小批量设备切入更为现实。

投资关键判断点：

产品管线是否合理，单一品类难以支撑长期成长；
客户拓展与商业化能力；
科研市场向工业化应用的跨越能力，是否有实质性应用落地。

八、总结

MBE设备是化合物半导体、量子器件、红外光电等高性能应用的核心支撑技术。它的优势不在于速度，而在于 .的控制力和材料质量。
虽然设备昂贵、工艺复杂、效率不高，但在许多高端场景中具有不可替代性。未来在先进封装、3D集成、量子芯片等新兴领域仍有很大的拓展潜力。

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