你以为日本只会造材料？整条产线关键机台一大半都是日本的

2025-11-25 14:16:45 33

1. 先把话说明白：

日本设备不是“配角”，是“整条产线里一大半的关键机台供应商”。

在整体半导体制造设备上，日本公司大概拿着约 30% 左右的全球市场份额，仅次于美国，是 .第二大设备供应国。
2023 年全球半导体设备销售额大概是 1060 亿美元，日本企业在里面是仅次于美企的那一极。

换句话说：

ASML 负责那台最贵的光刻机，日本则把光刻机周边、薄膜、清洗、量测、测试这整套“生态位”吃得满满的。

2. 按你熟悉的工艺链来拆：日本设备强在哪些环节？

2.1 光刻周边：涂胶显影 + 清洗，日本是“必带队友”

Tokyo Electron（TEL） 是这里的 .大佬：

在 coater/developer（涂胶/显影机台） 上，TEL 的全球市占率接近 90%+，几乎是垄断。
同时在 干法刻蚀、薄膜沉积、清洗、晶圆邦定、probe 等设备 上也都有 20～30% 级别的全球份额。

SCREEN 则是清洗领域的 .：

SCREEN 自己就宣传：其单片清洗机是“全球 No.1 清洗设备供应商”。

对你在产线上的意义很直观：

你在光刻前后的 涂胶、显影、去胶、表面处理、单片清洗，
很大概率就是在用 TEL + SCREEN 的机台写 recipe。

说白了：ASML 负责“照相”，TEL/SCREEN 负责“化妆 + 洗脸 + 护肤”。没有这套，光刻机发挥不出水平。

2.2 薄膜 & 刻蚀：日本设备撑起了大块产能

还是 TEL 为主：

在全球 刻蚀设备 里，TEL 约 27% 市占；
在 薄膜沉积（CVD、PVD 等） 上约 28%+，个别子品类甚至到 30%+。

这意味着：

你在做 栅极氧化层、间隔层、阻挡层、硬掩膜、金属互连 这些薄膜相关模块时，
以及配套的 图形刻蚀、contact/via/metal etch，
很大一部分机台其实都是日本品牌。

对工艺工程师来说，日本厂商的重要性体现在：

工艺窗口协同：材料 + 设备 + recipe 绑得很紧，很多优化是和 TEL 联合开发出来的。
新节点导入：像 3D NAND 超深孔刻蚀、新一代高 k/金属栅、Ruthenium 等新材料沉积，TEL 一直在推新机台和新 recipe。

2.3 光刻机本体：不是 EUV 老大，但 DUV 和封装端少不了日本

大家都知道 EUV 是 ASML 一家独大，但在 DUV 和封装用光刻 上，日本同样非常关键：

全球光刻机主要就是 ASML + Nikon + Canon 三家，ASML 虽然占 90% 以上收入，但 Nikon 和 Canon 仍然合起来有大概 10% 左右市占，主要集中在 DUV（KrF/ArF）和 i-line 以及封装/功率器件等应用。
Canon、Nikon 也在做针对 先进封装、功率器件、小尺寸晶圆 的专用 stepper / scanner，例如 200mm 功率器件、先进封装用 i-line 机台。

所以在很多 成熟制程、功率器件、模拟/车规、封装线 上：

你看到的光刻机不一定是 ASML，很可能就是 Nikon 或 Canon。

2.4 量测 & 缺陷检测：日本是“显微镜 + 放大镜”

Hitachi High-Tech 基本是 CD-SEM + e-beam 检测 的头部玩家：

它长期是 CD-SEM 市场的主导厂商，新出的 GS1000、GT2000 等产品就是为 EUV/High-NA EUV 时代的 3D 结构、高精度量测 做的。
支持 宽视场、高灵敏度、低损伤多点量测，帮助 EUV 工艺找缺陷、做 CD 控制。

另外一块是 晶圆检测/缺陷检测、表面检查，Hitachi High-Tech、SCREEN 等也都有布局。

对你来说：

CD 失控、线边粗糙、EUV 随机缺陷、3D 结构量测，
你每天盯的那些 SEM 图、缺陷图，大概率就是用日本设备拍出来的。

2.5 测试设备（ATE）：最后这关，日本同样是头牌

真正把芯片“打分”的那部分：

Advantest 是全球 .的 自动测试设备（ATE） 厂商之一，被 TechInsights 连续多年评为全球测试设备类 .。
报道里提到，它掌握了全球超过一半的高端芯片测试市场，尤其是 SoC、memory、AI 加速器这类高价值芯片测试。

这意味着：

无论你是做前段 Fab 还是后段 OSAT，
最终那几道 功能测试、性能测试、老化测试，
很多都是在 Advantest 的机台上跑出来的 bin 信息。

所以前面工艺做得再好，最后一刀 “Pass/Fail” 的权力，很多时候在日本测试机台手里。

3. 为啥全行业都说“日本设备不可或缺”？

3.1 工艺层面的“不可替代性”

你可以把 “工艺”理解成：设备 + 材料 + recipe 的耦合系统。

日本既在材料端强，又在设备端强，两边互相绑定：例如 TEL 机台 + 日本光刻胶/清洗液。
某个关键设备一换：

整套 工艺窗口、良率、可靠性 都要重做
先进节点（EUV、3D NAND、HBM 等）容错空间本来就小，更不敢乱换供应商

所以很多 Fab 在做投资决策时，几乎把日本厂商当成：

“默认选项 + 长期技术伙伴”，不是简单的“买一台机器”而已。

3.2 全球供应链角度：日本是“第二条腿”

现在的格局大概是这样：

美国：Applied、Lam、KLA 等，掌握很多关键工艺模块
荷兰：ASML，EUV 光刻机老大
日本：在 30% 左右的制造设备 + 50% 左右的材料 上长期占据优势，形成一个完整的“设备+材料生态”。

政策和地缘政治层面：

各种报告和智库分析都把日本定位为“美国主导联盟里的关键节点”：设备和材料一起构成对高端制程出口管制的核心抓手。

简单粗暴一点讲：

美国管 IP 和规则，荷兰管最贵那台机，日本管“生产线上的半壁江山设备 + 大部分化学品”。

3.3 行业景气：AI + 新一轮扩产，日本设备在风口中央

全球晶圆厂投资在 2025 年预计再创新高，设备投入超过 1100 亿美元，中国、台湾、韩国、日本都是主要买家。
日本本土也在借 TSMC 熊本厂、Rapidus 等项目复兴芯片产业，本地对设备的需求也在稳步上升。
对设备厂来说（尤其是 TEL、SCREEN、Advantest 这些），AI、HBM、先进封装都是实打实的订单来源。

4. 换成“说人话”的几个比喻

如果把一座晶圆厂比喻成一个庞大的厨房：

ASML：那台最贵、最复杂的主烤箱（EUV）
美企设备：高端料理机、刀具组合、温控系统
日本设备：

涂胶显影 = 调味、上浆工序的自动工作站
清洗机 = 洗菜池 + 洗碗机
刻蚀/薄膜设备 = 各种炉子、油锅、蒸箱
CD-SEM/缺陷检 = 品控室显微镜
ATE = 出菜前的试吃官 + 质检官

如果把这些日本设备全抽走：

这家厨房不是“味道差一点”，而是——菜根本做不出来，光有一台 .烤箱完全没用。

5. 对你这种半导体工程师的实际启示

做工艺 / 设备的

和日本设备厂的 AE / FAE 高度绑定是常态，
新节点导入、良率爬坡、成本优化，很多时候是和 TEL / SCREEN / Hitachi High-Tech / Advantest 联合项目。

做产业或战略判断的

看“先进制程”不能只盯 TSMC、ASML，
要把日本设备产业当成一个独立的技术力量来看：它决定了“全 .能把产能开到什么水平、工具有多稳定”。

如果你考虑职业路径

日本设备厂 = 站在“全行业工艺交汇点”的位置，
你会接触到全球主要 Fab 的真实需求，而不是只见到一家厂的内部问题。

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