整整185种！ASML、NIKON、CANON御三家光刻机型号大全

半导体行业综研|Semiconductor industry|

2024-10-30 15:20:43 1032

在所有半导体设备里，光刻机确实是一个最有话题热度的门类了。我之前从ASML、NIKON、CANON三家的官网上下载收录了他们目前销售的光刻机型号，并汇总做成表格供大家参考，读者反馈不错。更有行业大佬写文章时引用我的数据后更是给我的公众号带来 .巨大流量

当然也有专业做设备贸易的人士提醒我：其实三家在历史上推出过的光刻机型号远不止这些。只是因为部分型号过于老旧，原厂已经早已不销售了，所以官网上也查不到相关信息而已。不过市面上这些设备还在作为二手货被交易和使用，行业朋友对这些信息也有需求

说者无心，听者有意。这就激发起了我的好奇心。于是有了进一步收集数据的想法。而恰恰在这个时候，一些行业朋友也主动给我提供了大量的资料 -- 在此特别感谢之前慷慨给我提供信息的行业朋友，人数较多，就不一一具名了

话不多说了，数据奉上。目前收集到的三家供应商机台型号数量共185种，基本涵盖市面上绝大多数的三家供应商光刻机型号。麻烦大家在参考的同时也继续给我提供信息，帮我进一步完善这个数据：

ASML：78种

NIKON：71种

CANON：36种

这个完整表格里其实还有各个设备型号的具体参数指标，比如：焦深、放大倍率、视场尺寸、晶圆尺寸乃至推出市场的年份信息

不过由于版面有限，我只能截取部分信息做成以上简表供大家参考了

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