为什么晶圆的边需要铺满电路？

老虎说芯|Tiger Chip|

2025-01-15 10:53:55 507

晶圆制造工艺是半导体生产中的关键步骤，晶圆的边缘区域对整个制造过程和成品良率具有重要影响。

1. 防止边缘效应影响芯片质量

边缘效应指的是由于晶圆边缘的处理不同于中心区域，导致的电学和物理性能的差异。晶圆边缘由于距离加工工具较远或光刻曝光时的处理不均，可能会出现性能不稳定的情况。比如，金属层和通孔的连接可能不良，或者材料沉积不均，导致边缘区域的芯片电性能异常。如果晶圆边缘没有电路结构，周围的材料密度和中心区域不同，这样会对内部芯片的整体质量产生影响，降低芯片的良率。

可以把晶圆的边缘看作是一个被抛在外面的“孤岛”，它与“岛屿”中心的其他部分相比没有保护，容易受到外界的干扰。若没有合适的结构设计，孤岛的环境会影响岛内的生态平衡（即芯片的性能）。在半导体制造中，这种“孤岛”效应对产品的稳定性和可靠性造成不良影响。

2. 确保加工均匀性和一致性

晶圆在制造过程中，需要经过多个精细的工艺步骤，如光刻、金属沉积、化学机械抛光（CMP）等。每一步都需要保持均匀性，否则会导致加工误差。如果晶圆边缘没有电路结构，会影响抛光过程中的力学分布。以CMP为例，CMP主要通过机械和化学相结合的方式去除晶圆表面多余的材料，保持晶圆的平整度。如果边缘没有电路结构，就会导致晶圆边缘没有足够的摩擦力，导致边缘和中心的研磨速率不同，从而产生高度差，进而影响中心区域芯片的质量。

就像在砂纸打磨木材时，若木材的边缘不平整，打磨会变得不均匀，导致表面光滑度不一致。同样，晶圆边缘的“不均匀”会影响整个晶圆的表面平整度和芯片的良率。

3. 优化芯片布局与空间利用

晶圆边缘铺满电路也有助于优化芯片布局，提高晶圆的使用效率。晶圆的边缘部分常常包含一些特殊的“dummy pattern”芯片或测试电路，这些电路并不是用于*终产品，但它们有助于测试和调试制造过程中的一些细节问题。例如，测试芯片可以用于验证光刻工艺的精度，或者用来测试材料沉积和蚀刻工艺的稳定性。

就像在拼图游戏中，周围的边框帮助你更好地组织和排列里面的碎片。晶圆的边缘铺设测试电路也是为了保证工艺的准确性和可靠性，从而提高整体生产的效率和质量。

4. 减少生产过程中的浪费

晶圆边缘如果没有设计电路结构，可能会造成更多的材料浪费。尤其是在更大直径的晶圆上，边缘区域的损失更为明显。制造过程中，晶圆边缘通常被切割或者磨削，这样会导致更多的边缘芯片丢失。如果边缘区域没有电路设计，虽然看似可以节省一些材料，但实际上会浪费更多的空间和晶圆面积，因为生产商无法将这些边缘区域有效利用。

假如你在制作一个大的披萨时，只切掉外围边缘，但仍然不能将这部分的面团合理利用，这样反而会浪费更多的食材。同理，晶圆的边缘部分如果没有电路，可以导致更多的芯片丧失，进而影响整个生产过程的成本效益。

5. 避免光刻与蚀刻不均匀

在光刻工艺中，晶圆表面覆盖一层光刻胶，随后通过光照将图案转移到晶圆表面。如果边缘没有电路图案，会导致在曝光过程中，边缘区域的光照强度或分布不均匀。由于光刻曝光是按区域进行的，若边缘没有电路，可能会导致光刻过程中的不均匀性，进一步影响整个图案的形成，特别是对于微小尺寸芯片而言，精度要求极高。

类比：

可以想象光刻过程类似于用太阳镜片投影太阳光形成阴影，若没有完整的遮罩，边缘的光线会有折射或者扩散，造成图案的不清晰。晶圆的边缘需要有合适的电路来保证光照的均匀分布，确保整个曝光过程的*性。

6. 降低晶圆整体良率波动

晶圆制造工艺中，由于复杂的化学反应、物理加工以及环境因素，任何微小的工艺差异都会影响*终的良率。边缘没有电路结构会使得这些工艺差异更加明显，因为在这些区域中，图案的形成和材料的沉积不够稳定。这种不稳定性可能在后续的加工环节中进一步放大，导致一些芯片无法通过质量检测。

就像在建筑时，如果忽视了建筑物四周的地基，建筑的结构会受到影响，可能导致中心部分也出现问题。同理，晶圆边缘如果没有适当的电路结构，也会让整个晶圆的质量波动增加，影响*终的芯片质量。

结论：晶圆的边缘需要铺满电路，目的是为了防止边缘效应、确保加工均匀性、优化空间利用、减少生产浪费、避免光刻与蚀刻不均以及降低整体良率波动。通过这些措施，晶圆制造过程中的每一步都能更精确地控制，*终确保芯片的高质量和高良率。

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