2025-07-28
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一、什么是分子束外延(MBE)? 分子束外延(Molecular Beam Epitaxy, 简称MBE)是一种在超高真空条件下,通过将高纯度元素以原子或分子束的形式沉积在加热的晶圆衬底表面,进行原子级控制的薄膜外延生长的技术。这项技术能够以极高的精度控制外延层的厚度、组分和界面结构,适用于生产高性能化合物半导体材料。 二、MBE的设备组成与工作流程 MBE设备并非一个简单的真空炉,它是一个多腔室、超高精度的材料沉积平台。 图片来源:论文《分子束外延设备国内外进展及
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